特征

行程可达4m x 4m

以线性滑轨或空气轴承架构之定位平台

良好接地设计防止噪声干扰

Z向震动可达奈米等级以下

速度高至5m/s

标准重现精度1um或以下

位置回馈系统分辨率低至50nm

应用

半导体设备

自动化搬送

FPD设备

太阳能制造设备

PCB设备

水刀设备

钻石切割产业

AOI检测设备

工具机